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電子級超純臭氧氣體發(fā)生器

采用高濃度、超純凈、深度精細工藝的臭氧實現(xiàn)技術(shù)是該發(fā)生器實現(xiàn)的基礎(chǔ)。臭氧被電子工業(yè)用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生長、光刻膠去除和多種清潔應(yīng)用。
GTC發(fā)生器能夠產(chǎn)生高濃度、大量流量、高壓力的超潔凈臭氧，整體模塊化，結(jié)構(gòu)緊湊，簡潔、可視化外觀。

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產(chǎn)品特點

臭氧濃度高

臭氧輸出壓力高

氣體流量高

采用超純臭氧發(fā)生技術(shù)

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    為您提供積極主動服務(wù)

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    我們與國內(nèi)的臭氧運行及

    應(yīng)用技術(shù)專家長效合作

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    協(xié)同您對臭氧發(fā)生系統(tǒng)中

    相關(guān)設(shè)備進行升級改造

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